Толщиномеры электропроводящих неферромагнитных слоев

Стоит напомнить, что результаты вихретоковой толщинометрии сильно зависят от удельной электрической проводимости материала ОК и от зазора между ВТП и ОК, вследствие чего вихретоковые толщиномеры отличаются большими погрешностями, чем ультразвуковые. Вихретоковая толщинометрия максимально эффективна при следующих условиях:

         - толщины ОК не более 2 мм;

         - недопустимость акустического контакта через слой жидкости с ОК.

         При толщинометрии электропроводящих слоев зависимость от зазора и электрической проводимости. Поэтому для этих мешающих факторов относительно каждого изделия устанавливаются диапазоны разбросов их величин, которые, однако, не слишком велики. Для подавления негативных зависимостей используются амплитудно-фазовые характеристики сигналов на каждой частоте.

Химическое фрезерование алюминиевого сплава. Для контроля толщины необходимо использовать фазовые толщиномеры с накладными и экранными накладными ВТП. Приборы выполнены по схеме фазометра.

         Оптимальный режим контроля алюминиевых листов с удельной электрической проводимостью 20 МСм/м и толщиной 2 мм – частота 6 кГц.

         При работе с накладными ВТП диапазон измерения составляет 0,5…4,0 мм, при работе с экранными – 0,5…8,0 мм. Частота тока возбуждения 6,5 кГц для экранных и 1 кГц для накладных ВТП. Приборы снабжены набором экранных ВТП с зоной контроля не менее 12х12 мм при допустимом радиусе кривизны ОК не менее 60 мм, а также набором накладных ВТП с зоной контроля не менее 15х15 мм.

         Погрешность измерения фазовых толщиномеров не превышает 0,5…1,0% верхнего предела поддиапазона при использовании экранных и 1,0…1,5% при использовании накладных ВТП. Расстояние между экранными ВТП на 4…5 мм больше максимальной толщины ОК, что необходимо для свободного доступа травящего раствора.

         Далее вихретоковая толщинометрия применяется относительно электропроводящих покрытий на изоляционной основе: фольгированные листы из стеклотекстолита для печатных плат, металлические покрытия для пластмасс. Толщина этих покрытий не превышает 150 мкм, что даёт следующую сложность: невозможно разделить влияние толщины ОК и влияние удельной электрической проводимости на выходной сигнал ВТП.

Печатная плата из медного текстолита – частый объект толщинометрии. Необходимо контролировать толщину слоя металлизации отверстий печатных плат.

Измеритель толщины металлизации ИНТРОМЕТ. В основе заложен миниатюрный линейный ВТП.

         В подобных толщиномерах резко снижена погрешность измерения, связанная с влиянием контактных площадок. Размещая продольные проводники ВТП равномерно по его поверхности, добиваются снижения погрешности, вызванной радиальными перемещениями ВТП внутри отверстия.

         Размеры ВТП: диаметр не более 1 мм, длина 3…4мм. Отличаются малым числом витков, поэтому начальное напряжение не превышает 1…4 мВ, сами сигналы – десятки и сотни микровольт. Поэтому для устранения влияния подводящих проводов предварительный усилитель сигнала размещен в выносном пробнике прибора. Диаметры контролируемых отверстий в плате: 0,6…2,0 мм.